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滑閥真空泵的工藝原理
更新時間:2024-06-14  |  點擊率:1529
  真空泵是一種通過排除容器內(nèi)的氣體而將其壓力降至較低水平的設(shè)備,其中滑閥真空泵是其中一種常見的真空泵類型。
 
  在滑閥真空泵工作時,首先將機內(nèi)空間與外界隔離,打開排氣閥的同時關(guān)閉吸氣閥,此時空室通過排氣閥將氣體抽出,空室內(nèi)部壓力隨著氣體的排出而降低,同時前限壓力和相應(yīng)的有效抽速提高。
 
  隨后,關(guān)閉排氣閥,打開吸氣閥。此時,由于外界氣體的壓力高于空室內(nèi)部的壓力,外界氣體自然進入空室,壓力和抽速均隨之降低。為了保證這一周期的正常進行,必須保證排氣閥的關(guān)閉時間短于吸氣閥的開啟時間,并且不能有殘余氣體留在空室內(nèi),否則將會影響下個周期的工作。
 
  滑閥真空泵在不同的使用場景下,其工作原理會有所不同。例如在被用于薄膜技術(shù)或半導(dǎo)體制造過程中,滑閥真空泵需要進行調(diào)整以提高其性能和穩(wěn)定性。
 
  此外,滑閥真空泵通常需要與其他真空設(shè)備一起使用,例如油封泵或分子泵,以進一步提高其工作效率。不同設(shè)備之間的組合使用將有所不同,取決于特定的工作環(huán)境和要求。

 

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