羅茨往復(fù)泵真空機組是運用轉(zhuǎn)子和可在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的旋片的旋轉(zhuǎn)運動以獲得真空的一種變?nèi)輽C械真空泵。中選用作業(yè)液來停止?jié)櫥⑻畛浔们凰老叮指襞艢忾y和大氣時,無作業(yè)液時,即為通常所稱的無作業(yè)液時,。
在油無作業(yè)液時,上稱皮帶傳動的、,而把泵與電機間接銜接或用聯(lián)軸器銜接的稱為直聯(lián)旋片真空泵。在每種泵中,又有單級和雙級之分。在單級泵中,由于選用的構(gòu)造方式和參數(shù)不同,泵的極限壓力和用途也不同。
無作業(yè)液時,的種類繁多,在選型時特別要注意:
1、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境的影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
2、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的真空泵或真空機組。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,首先選擇耐腐蝕允許部分顆?;蛘羝恼婵毡茫€可以考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
3、所選無作業(yè)液時,在其正常工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中所產(chǎn)生的全部氣體量,無作業(yè)液時,否則影響真空度。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種真空泵不能滿足抽氣要求,需要幾種真泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。